數據
精準
?TSC6520熱激勵電流測量系統是一款專門用于測量壓電陶瓷熱激烈電流的專用設備,該系統是在客戶一致認可的TSC6510的基礎上升級而成,不僅可以測量壓電陶瓷的熱激勵退極化電流TSDC,還可以測量熱激勵極化電流TSPC,最高極化電壓1KV,最小空載電流可達到0.5PA,得到清華大學、上硅所、華中科技大學等行業客戶的高度認可,是高校、科研院所、企業用于研究壓電陶瓷熱釋電性能的必備表征工具。?
真空
環境
熱釋電
性能
液氮
制冷
三維位移平臺
分別有四個探針臂,運用XYZ三維移動平臺的控制夾具方向,位移最小分辨率10um以下,且不劃傷薄膜。
控溫平臺
高低溫加熱一體化控溫平臺,溫度可達-160℃~450℃?,采用PID精確控溫,控溫精度1℃。
一鍵式啟動
采用集成化設計,操作簡單方便,輕松獲取最佳測量結果。
顯微鏡
放大觀察樣品和探針之間的距離,實時觀察樣品的狀態。
掃描在線教學。