高低溫
測量
TSC6530熱激勵電流測量系統是一款專門用于測量壓電陶瓷熱激烈電流的專用設備,該系統是在客戶一致認可的TSC-6520的基礎上升級而成,不僅可以測量壓電陶瓷的熱激勵退極化電流TSDC,還可以測量熱激勵極化電流TSPC,最高極化電壓10KV,最小空載電流可達到0.5PA,得到清華大學、上硅所、華中科技大學等行業客戶的高度認可,是高校、科研院所、企業用于研究壓電陶瓷熱釋電性能的必備表征工具。
退極化
電流
液氮
制冷
極化電壓
10KV
BNC測量導線
連接主機和儀表,測量導線不同的顏色分別對應不同的接口,按照顏色對應連接,實現無限拓展與應用。
高低溫控溫平臺
高低溫加熱一體化控溫平臺,溫度可達-160℃~450℃?,采用PID精確控溫,控溫精度1℃。
三維位移平臺
分別有四個探針臂,運用XYZ三維移動平臺的控制夾具方向,位移最小分辨率10um以下,且不劃傷薄膜。
控制機箱
通過控制機箱來控制夾具的傳感器、平臺的溫度、真空閥和測量精度等。
配備低溫液氮傳輸系統,實現自動補給控溫平臺需要的制冷量。