已申請實用新型專利 專利號:ZL 2015 2 0667725.6
雙電測組合測量
業內最可靠的高溫四探針測量系統
— 為您開啟測量新視野—
01
■ 高溫爐膛、測量夾具、顯示及軟件集成于一體,測量精度更高,儀器更加穩定且易維護;
■ 爐膛采用進口金屬材料,耐高溫、抗氧化,可實現多種環境下的電學測量;
■ 彈簧夾具采用半球狀+平板狀電極結構,讓系統的重復性和穩定性更高;
■ 集成10.1”電容觸摸寬屏顯示,軟件操作更加流暢,體驗感更好;
■ 控溫和測量采用同一個傳感器,保證樣品每次采集的溫度都是實際溫度;
■ 最新的RMS系列機型采用RAM嵌入式開發平臺,可以進行在線升級、遠程協助及故障診斷;
02
■ 電動升降爐膛設計,操作簡單,使用方便;
■ 高溫爐膛采用進口纖維一體開模鑄造而成,最高溫度可達1000℃;
■ 爐膛內部配有超溫報警電路,確保爐膛不易燒壞,采用先進的工程塑料開模,外表美觀;
■ 采用三段PID精確控溫,實現不同溫度區間的精確控溫,控溫精度達到±0.5℃;;
■ 爐膛升溫故障診斷監控設計,隨時監測爐膛運行情況;
■ 可以測量半導體薄膜和薄片材料的方塊電阻、電阻率;
■ 雙電測組合測量,消除探針和樣品的自身影響;
■ 可以自動調節施加在樣品的測試電壓,以防樣品擊穿;
■ 耐高溫四探針夾具,碳化鎢探針,99氧化鋁陶瓷絕緣;
■ 系統自帶溫度校準功能,讓測量溫度盡可能與樣品實際溫度保持一致。
03
經典直排四探針設計
特殊半球狀針尖、避免薄膜樣品損壞
特點:
■ 集成一體化設計,觸摸屏控制和顯示,具有卓越的易用性;
■ 可以實現常溫、變溫、恒溫條件的I-V、R-T、R-t等測量功能;04